SETO 1.67 Photchromatické šošovky shmc

1) Čo je točenie?

Spin Coating je postup, ktorý sa používa na ukladanie rovnomerných tenkých filmov na ploché substráty. Zvyčajne sa na stred substrátu aplikuje malé množstvo poťahového materiálu, ktorý sa buď otočí pri nízkej rýchlosti alebo vôbec nie je otáčanie. Substrát sa potom otáča rýchlosťou až do 10 000 ot / min, aby sa rozložil materiál potiahnutia odstredivou silou. Stroj používaný na točiaci povlak sa nazýva točiacich pasa alebo jednoducho spinner.
Rotácia pokračuje, keď sa tekutina otočí z okrajov substrátu, až kým sa nedosiahne požadovaná hrúbka filmu. Aplikované rozpúšťadlo je zvyčajne prchavé a súčasne sa odparuje. Čím vyššia je uhlová rýchlosť spriadania, tým tenšia je film. Hrúbka filmu tiež závisí od viskozity a koncentrácie roztoku a rozpúšťadla. Priekopnícka teoretická analýza spinového povlaku vykonala Emslie a kol., A bola rozšírená mnohými nasledujúcimi autormi (vrátane Wilsona a kol., Ktorý študoval mieru šírenia v točení; a Danglad-Flores a kol., Ktorý našiel a, ktorí našli A Univerzálny opis na predpovedanie uloženej hrúbky filmu).
Spin Coating sa široko používa pri mikrofabrikácii funkčných oxidových vrstiev na sklenených alebo jednokryštalických substrátoch s použitím prekurzorov sol-gélu, kde sa môže použiť na vytvorenie rovnomerných tenkých filmov s hrúbkou nanočastíc. [6] Používa sa intenzívne vo fotolitografii, na ukladanie vrstiev fotorezistu asi 1 mikrometrov hrubý. FotoResist sa zvyčajne točí o 20 až 80 otáčok za sekundu po dobu 30 až 60 sekúnd. Všeobecne sa používa na výrobu planárnych fotonických štruktúr vyrobených z polymérov.
Jednou z výhod točenia tenkých filmov je uniformita hrúbky filmu. Vzhľadom na samoúčelné hrúbky sa hrúbky nemenia viac ako 1%. Avšak, hustejšie filmy polymérov a fotoresistov rotujúce potiahnutia môžu mať za následok relatívne veľkú hranu guľôčkových guľôčok, ktorých plaarizácia má fyzické limity.